Surface Charge Evolution during Early Stage of Thermal Oxidation of Silicon

• 期刊名称Electrochemical and Solid-State Letters
• 作者Wang, Jianbai; Roman, Paul; Kamieniecki, Emil; Ruzyllo, Jerzy
• 卷第6卷
• 期第5期
• 印刷ISSN1099-0062
• 文件大小334.71KB
• 发表时间2003
• DOI10.1149/1.1563873