High-power collimated laser-plasma source for proximity x-ray nanolithography

C. J. Gaeta; H. Rieger; I. C. E. Turcu; R. A. Forber; S. M. Campeau; K. L. Cassidy; M. F. Powers; A. Stone; J. R. Maldonado; S. Mrowka; G. French; J. Naungayan; C. Kelsy; P. Hark; J. H. Morris; R. M. Foster; J. C. Carosella; D. Fleming; R. Selzer; H. Siegert; H. I. Smith; M. H. Lim; Z. Cheng; J. Burdett; D. Gibson; R. R. Whitlock; C. M. Dozier; D. A. Newman

作者C. J. Gaeta; H. Rieger; I. C. E. Turcu; R. A. Forber; S. M. Campeau; K. L. Cassidy; M. F. Powers; A. Stone; J. R. Maldonado; S. Mrowka; G. French; J. Naungayan; C. Kelsy; P. Hark; J. H. Morris; R. M. Foster; J. C. Carosella; D. Fleming; R. Selzer; H. Siegert; H. I. Smith; M. H. Lim; Z. Cheng; J. Burdett; D. Gibson; R. R. Whitlock; C. M. Dozier; D. A. Newman
文件大小1572.47KB
发表时间2003
DOI10.1116/1.1539070

发现好书期刊，享受阅读乐趣

High-power collimated laser-plasma source for proximity x-ray nanolithography