Intermediate species in a 2.45 GHz microwave plasma sustained in an argon–tetramethylsilane gas mixture
- 作者J.L. Jauberteau; I. Jauberteau; J. Aubreton
- 卷第228卷
- 期第1期
- 印刷ISSN1387-3806
- 文件大小158.45KB
- 发表时间2003
- DOI10.1016/s1387-3806(03)00193-3
- 页码49-59
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