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Electromechanical Behavior in Micromachined Piezoelectric Membranes

Robinson, M. C.; Raupp, J. C.; Demir, I.; Richards, C. D.; Richards, R. F.; Bahr, D. F.

期刊名称MRS Proceedings
作者Robinson, M. C.; Raupp, J. C.; Demir, I.; Richards, C. D.; Richards, R. F.; Bahr, D. F.
卷第782卷
电子ISSN1946-4274
文件大小263.33KB
发表时间2003-1
DOI10.1557/proc-782-a5.33