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Surface Evaluation of LiNbO3, LiTaO3 Crystals Etched Using Fluorine System Gas Plasma RIE

Surface Evaluation of LiNbO3, LiTaO3 Crystals Etched Using Fluorine System Gas Plasma RIE

Fujii, Takahiro; Yoshikado, Shinzo
  • 期刊名称IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
  • 作者Fujii, Takahiro; Yoshikado, Shinzo
  • 卷第123卷
  • 期第8期
  • 印刷ISSN0385-4205
  • 电子ISSN1347-5533
  • 文件大小262.62KB
  • 发表时间2003
  • DOI10.1541/ieejfms.123.731
  • 页码731-737
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