Processing of High-Density Submicrometer Al2O3 for New Applications

• 作者Andreas Krell; Paul Blank; Hongwei Ma; Thomas Hutzler; Manfred Nebelung
• 卷第86卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0002-7820
• 电子ISSN1551-2916
• 文件大小3163.08KB
• 发表时间2003
• DOI10.1111/j.1151-2916.2003.tb03339.x
• 页码546-53