Interference nanolithography with a UV laser

V. I. Bredikhin; V. N. Burenina; Yu. K. Verevkin; A. V. Kirsanov; V. N. Petryakov; N. V. Vostokov; V. F. Dryakhlushin; A. Yu. Klimov

作者V. I. Bredikhin; V. N. Burenina; Yu. K. Verevkin; A. V. Kirsanov; V. N. Petryakov; N. V. Vostokov; V. F. Dryakhlushin; A. Yu. Klimov
卷第49卷
期第9期
印刷ISSN1063-7842
电子ISSN1090-6525
文件大小247.86KB
发表时间2004-09
DOI10.1134/1.1800241
页码1191-1195

发现好书期刊，享受阅读乐趣