Dielectric properties of AlN film on Si substrate
Z. X. Bi; Y. D. Zheng; R. Zhang; S. L. Gu; X. Q. Xiu; L. L. Zhou; B. Shen; D. J. Chen; Y. Shi
- 作者Z. X. Bi; Y. D. Zheng; R. Zhang; S. L. Gu; X. Q. Xiu; L. L. Zhou; B. Shen; D. J. Chen; Y. Shi
- 卷第15卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0957-4522
- 电子ISSN1573-482X
- 文件大小169.81KB
- 发表时间2004-05
- DOI10.1023/b:jmse.0000024233.82681.dc
- 页码317-320