Borophosphosilicate Glass Films in Silicon Microelectronics, Part 1: Chemical Vapor Deposition, Composition, and Properties

• 作者V. Y. Vasilev
• 卷第33卷
• 期第5期
• 印刷ISSN1063-7397
• 电子ISSN1608-3415
• 文件大小123.13KB
• 发表时间2004-09
• DOI10.1023/b:rumi.0000043043.02416.52
• 页码271-284