Practical Plasma Immersion Ion Implantation for Stress Regulation and Treatment of Insulators

M. M. M. Bilek; D. R. McKenzie; R. N. Tarrant; T. W. H. Oates; P. Ruch; K. Newton-McGee; Yang Shi; D. Tompsett; H. C. Nguyen; B. K. Gan; D. T. Kwok

作者M. M. M. Bilek; D. R. McKenzie; R. N. Tarrant; T. W. H. Oates; P. Ruch; K. Newton-McGee; Yang Shi; D. Tompsett; H. C. Nguyen; B. K. Gan; D. T. Kwok
卷第44卷
印刷ISSN0863-1042
电子ISSN1521-3986
文件大小149.23KB
发表时间2004
DOI10.1002/ctpp.200410065
页码465-471

发现好书期刊，享受阅读乐趣