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Dual source APCVD synthesis of TaN and NbN thin films on glass from the reaction of MCl5 (M = Ta, Nb) and 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane

Newport, Anne C.; Bleau, Jenelle E.; Carmalt, Claire J.; Parkin, Ivan P.; O'Neill, Shane A.

期刊名称Journal of Materials Chemistry
作者Newport, Anne C.; Bleau, Jenelle E.; Carmalt, Claire J.; Parkin, Ivan P.; O'Neill, Shane A.
卷第14卷
期第22期
印刷ISSN0959-9428
电子ISSN1364-5501
文件大小259.68KB
发表时间2004
DOI10.1039/b410879e