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Amorphous molybdenum nitride thin films prepared by reactive sputter deposition

Amorphous molybdenum nitride thin films prepared by reactive sputter deposition

Yimin Wang; Ray Y. Lin

作者Yimin Wang; Ray Y. Lin
卷第112卷
期第1期
印刷ISSN0921-5107
文件大小368.38KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.mseb.2004.05.010
页码42-49

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