Selective epitaxial growth of SiGe:C for high speed HBTs

H. Schäfer; J. Böck; R. Stengl; H. Knapp; K. Aufinger; M. Wurzer; S. Boguth; M. Rest; R. Schreiter; T.F. Meister

作者H. Schäfer; J. Böck; R. Stengl; H. Knapp; K. Aufinger; M. Wurzer; S. Boguth; M. Rest; R. Schreiter; T.F. Meister
卷第224卷
印刷ISSN0169-4332
文件大小209.45KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.apsusc.2003.08.023
页码18-23

发现好书期刊，享受阅读乐趣