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Production of higher silanes in radio frequency SiH[sub 4] and H[sub 2]-SiH[sub 4] plasmas

Production of higher silanes in radio frequency SiH[sub 4] and H[sub 2]-SiH[sub 4] plasmas

Horvath, P.; Rozsa, K.; Gallagher, A.
  • 期刊名称Journal of Applied Physics
  • 作者Horvath, P.; Rozsa, K.; Gallagher, A.
  • 卷第96卷
  • 期第12期
  • 印刷ISSN0021-8979
  • 文件大小407.33KB
  • 发表时间2004
  • DOI10.1063/1.1786666
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