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Multilevel nanoimprint lithography

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M.M. Alkaisi; W. Jayatissa; M. Konijn

期刊名称Current Applied Physics
作者M.M. Alkaisi; W. Jayatissa; M. Konijn
卷第4卷
印刷ISSN1567-1739
文件大小438.27KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.cap.2003.10.009
页码111-114

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