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Fabrication and characterization of SiO2 microcantilever for microsensor application

Fabrication and characterization of SiO2 microcantilever for microsensor application

Yanjun Tang; Ji Fang; Xiaodong Yan; Hai-Feng Ji

作者Yanjun Tang; Ji Fang; Xiaodong Yan; Hai-Feng Ji
卷第97卷
期第1期
印刷ISSN0925-4005
文件大小197.68KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.snb.2003.08.003
页码109-113

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