Single, double and surround gate vertical MOSFETs with reduced parasitic capacitance

E. Gili; V.D. Kunz; C.H. de Groot; T. Uchino; P. Ashburn; D.C. Donaghy; S. Hall; Y. Wang; P.L.F. Hemment

作者E. Gili; V.D. Kunz; C.H. de Groot; T. Uchino; P. Ashburn; D.C. Donaghy; S. Hall; Y. Wang; P.L.F. Hemment
卷第48卷
期第4期
印刷ISSN0038-1101
文件大小361.59KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.sse.2003.09.019
页码511-519

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