发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Fluoropolymers for 157 nm single-layer resists

M. Toriumi; T. Ishikawa; T. Kodani; M. Koh; T. Moriya; T. Yamashita; T. Araki; H. Aoyama; T. Yamazaki; T. Furukawa; T. Itani

作者M. Toriumi; T. Ishikawa; T. Kodani; M. Koh; T. Moriya; T. Yamashita; T. Araki; H. Aoyama; T. Yamazaki; T. Furukawa; T. Itani
文件大小494.77KB
发表时间2004
DOI10.1116/1.1633282