Investigation of Ge profile on SiGe islands by scanning photoelectron microscopy

M. Cho; Y. J. Cho; M. K. Lee; S. A. Park; Y. S. Roh; Y. K. Kim; K. Jeong; S. K. Kang; D. Ko; H. J. Shin; K. W. Kwon

作者M. Cho; Y. J. Cho; M. K. Lee; S. A. Park; Y. S. Roh; Y. K. Kim; K. Jeong; S. K. Kang; D. Ko; H. J. Shin; K. W. Kwon
文件大小1152.57KB
发表时间2004
DOI10.1116/1.1736643

发现好书期刊，享受阅读乐趣