High fidelity blazed grating replication using nanoimprint lithography

• 作者C. Chang; J. C. Montoya; M. Akilian; A. Lapsa; R. K. Heilmann; M. L. Schattenburg; M. Li; K. A. Flanagan; A. P. Rasmussen; J. F. Seely; J. M. Laming; B. Kjornrattanawanich; L. I. Goray
• 文件大小925.81KB
• 发表时间2004
• DOI10.1116/1.1809614