Step and Flash Imprint Lithography Modeling and Process Development

• 期刊名称Journal of Photopolymer Science and Technology
• 作者Johnson, S.; Burns, R.; Kim, E. K.; Schmid, G.; Dicky, M.; Meiring, J.; Burns, S.; Stacey, N.; Wilson, C. G.; Convey, D.; Wei, Y.; Fejes, P.; Gehoski, K.; Mancini, D.; Nordquist, K.; Dauksher, W. J.; Resnick, D. J.
• 卷第17卷
• 期第3期
• 印刷ISSN0914-9244
• 电子ISSN1349-6336
• 文件大小222.42KB
• 发表时间2004
• DOI10.2494/photopolymer.17.417
• 页码417-419