SiC via holes by laser drilling
S. Kim; B. S. Bang; F. Ren; J. D’entremont; W. Blumenfeld; T. Cordock; S. J. Pearton
- 作者S. Kim; B. S. Bang; F. Ren; J. D’entremont; W. Blumenfeld; T. Cordock; S. J. Pearton
- 卷第33卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0361-5235
- 电子ISSN1543-186X
- 文件大小795.54KB
- 发表时间2004
- DOI10.1007/s11664-004-0206-7
- 页码477-480