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Review on high-k dielectrics reliability issues

Ribes, G.; Mitard, J.; Denais, M.; Bruyere, S.; Monsieur, F.; Parthasarathy, C.; Vincent, E.; Ghibaudo, G.

期刊名称IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
作者Ribes, G.; Mitard, J.; Denais, M.; Bruyere, S.; Monsieur, F.; Parthasarathy, C.; Vincent, E.; Ghibaudo, G.
卷第5卷
期第1期
文件大小853.68KB
发表时间2005
DOI10.1109/TDMR.2005.845236
页码5-19