Scanning probe microscopy for silicon device fabrication

Simmons, M.Y.; Ruess, F.J.; Goh, K.E.J.; Hallam, T.; Schofield, S.R.; Oberbeck, L.; Curson, N.J.; Hamilton, A.R.; Butcher, M.J.; Clark, R.G.; Reusch, T.C.G.

期刊名称Molecular Simulation
作者Simmons, M.Y.; Ruess, F.J.; Goh, K.E.J.; Hallam, T.; Schofield, S.R.; Oberbeck, L.; Curson, N.J.; Hamilton, A.R.; Butcher, M.J.; Clark, R.G.; Reusch, T.C.G.
卷第31卷
印刷ISSN0892-7022
电子ISSN1029-0435
文件大小652.85KB
发表时间2005-05
DOI10.1080/08927020500035580
页码505-515

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Scanning probe microscopy for silicon device fabrication