Transient capacitance measurement of MEM capacitor

• 作者Heikki Nieminen; Jari Hyyryläinen; Timo Veijola; Tapani Ryhänen; Vladimir Ermolov
• 卷第117卷
• 期第2期
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小211.53KB
• 发表时间2005
• DOI10.1016/j.sna.2004.06.023
• 页码267-272