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Ionization enhancement of zirconium atoms in inductively coupled discharge

Ionization enhancement of zirconium atoms in inductively coupled discharge

Keiji Nakamura; Hiroaki Yoshinaga; Ken Yukimura

作者Keiji Nakamura; Hiroaki Yoshinaga; Ken Yukimura
卷第196卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小164.88KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.surfcoat.2004.08.125
页码188-191

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