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Optical emission spectroscopy in an inverted cylindrical magnetron plasma

Optical emission spectroscopy in an inverted cylindrical magnetron plasma

A.D. Srivastava; M.H. Gordon; D.G. Bhat

作者A.D. Srivastava; M.H. Gordon; D.G. Bhat
卷第200卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小268.14KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.surfcoat.2005.08.111
页码1346-1350

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