The influence of deposition parameters on TiB2 thin films prepared by DC magnetron sputtering

B. Grančič; M. Mikula; L. Hrubá; M. Gregor; M. Štefečka; A. Csuba; E. Dobročka; A. Plecenik; P. Kúš

作者B. Grančič; M. Mikula; L. Hrubá; M. Gregor; M. Štefečka; A. Csuba; E. Dobročka; A. Plecenik; P. Kúš
卷第80卷
印刷ISSN0042-207X
文件大小296.24KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.vacuum.2005.08.013
页码174-177

发现好书期刊，享受阅读乐趣