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Frequency adjustment of microelectromechanical cantilevers using electrostatic pull down

Frequency adjustment of microelectromechanical cantilevers using electrostatic pull down

S. M. M. Kafumbe; J. S. Burdess; A. J. Harris

作者S. M. M. Kafumbe; J. S. Burdess; A. J. Harris
文件大小232.69KB
发表时间2005
DOI10.1088/0960-1317/15/5/020

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