PRE-ANNEALING EFFECTS ON AL METALLIZATION PROPERTIES IN HIGH DENSITY FeRAM DEVICE

CHO, K. W.; CHOI, J. H.; YU, H. S.; KWEON, S. Y.; YEOM, S. J.; KIM, N. K.; CHOI, E. S.; SUN, H. J.; HONG, S. K.; HONG, T. W.; KIM, I. H.; LEE, J. I.; UR, S. C.; LEE, Y. G.; RYU, S. L.; CHOI, S. K.

期刊名称Integrated Ferroelectrics
作者CHO, K. W.; CHOI, J. H.; YU, H. S.; KWEON, S. Y.; YEOM, S. J.; KIM, N. K.; CHOI, E. S.; SUN, H. J.; HONG, S. K.; HONG, T. W.; KIM, I. H.; LEE, J. I.; UR, S. C.; LEE, Y. G.; RYU, S. L.; CHOI, S. K.
卷第81卷
期第1期
印刷ISSN1058-4587
电子ISSN1607-8489
文件大小2868.41KB
发表时间2006-11
DOI10.1080/10584580600659910
页码113-122

发现好书期刊，享受阅读乐趣

PRE-ANNEALING EFFECTS ON AL METALLIZATION PROPERTIES IN HIGH DENSITY FeRAM DEVICE