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High performance thin film bulk acoustic resonator covered with carbon nanotubes

Dragoman, M.; Muller, A.; Neculoiu, D.; Vasilache, D.; Konstantinidis, G.; Grenier, K.; Dubuc, D.; Bary, L.; Plana, R.; Flahaut, E.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Dragoman, M.; Muller, A.; Neculoiu, D.; Vasilache, D.; Konstantinidis, G.; Grenier, K.; Dubuc, D.; Bary, L.; Plana, R.; Flahaut, E.
卷第89卷
期第14期
印刷ISSN0003-6951
文件大小357.36KB
发表时间2006
DOI10.1063/1.2358838