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Implantation and diffusion of phosphorous in germanium

Implantation and diffusion of phosphorous in germanium

A. Chroneos; D. Skarlatos; C. Tsamis; A. Christofi; D.S. McPhail; R. Hung

作者A. Chroneos; D. Skarlatos; C. Tsamis; A. Christofi; D.S. McPhail; R. Hung
卷第9卷
印刷ISSN1369-8001
文件大小190.00KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.mssp.2006.10.001
页码640-643

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