Hydrogen plasma dry etching method for field emission application
Cheng, T. C.; Shieh, J.; Huang, W. J.; Yang, M. C.; Cheng, M. H.; Lin, H. M.; Chang, M. N.
- 期刊名称Applied Physics Letters
- 作者Cheng, T. C.; Shieh, J.; Huang, W. J.; Yang, M. C.; Cheng, M. H.; Lin, H. M.; Chang, M. N.
- 卷第88卷
- 期第26期
- 印刷ISSN0003-6951
- 文件大小395.77KB
- 发表时间2006
- DOI10.1063/1.2218824