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Laser micromachining of sputtered DLC films

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Y.Q. Fu; J.K. Luo; A.J. Flewitt; S.E. Ong; S. Zhang; W.I. Milne

作者Y.Q. Fu; J.K. Luo; A.J. Flewitt; S.E. Ong; S. Zhang; W.I. Milne
卷第252卷
期第13期
印刷ISSN0169-4332
文件大小407.95KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.apsusc.2005.06.054
页码4914-4918

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