Suppression of phosphorus diffusion by carbon co-implantation

• 期刊名称Applied Physics Letters
• 作者Pawlak, B. J.; Duffy, R.; Janssens, T.; Vandervorst, W.; Felch, S. B.; Collart, E. J. H.; Cowern, N. E. B.
• 卷第89卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0003-6951
• 文件大小262.03KB
• 发表时间2006
• DOI10.1063/1.2234315