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Annealing temperature effects on the structure of ferromagnetic Mn-implanted Si

Annealing temperature effects on the structure of ferromagnetic Mn-implanted Si

Bolduc, M.; Awo-Affouda, C.; Ramos, F.; LaBella, V. P.

期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者Bolduc, M.; Awo-Affouda, C.; Ramos, F.; LaBella, V. P.
卷第24卷
期第4期
印刷ISSN0734-2101
文件大小311.77KB
发表时间2006
DOI10.1116/1.2194921

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