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Thermal stability of a HfO[sub 2]∕SiO[sub 2] interface

Thermal stability of a HfO[sub 2]∕SiO[sub 2] interface

Ikarashi, Nobuyuki; Watanabe, Koji; Masuzaki, Koji; Nakagawa, Takashi

期刊名称Applied Physics Letters
作者Ikarashi, Nobuyuki; Watanabe, Koji; Masuzaki, Koji; Nakagawa, Takashi
卷第88卷
期第10期
印刷ISSN0003-6951
文件大小396.28KB
发表时间2006
DOI10.1063/1.2182023

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