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Accurate and traceable measurement of nano- and microstructures

Dai, Gaoliang; Pohlenz, Frank; Xu, Min; Koenders, Ludger; Danzebrink, Hans-Ulrich; Wilkening, Günter

期刊名称Measurement Science and Technology
作者Dai, Gaoliang; Pohlenz, Frank; Xu, Min; Koenders, Ludger; Danzebrink, Hans-Ulrich; Wilkening, Günter
卷第17卷
期第3期
印刷ISSN0957-0233
电子ISSN1361-6501
文件大小3579.92KB
发表时间2006-03-01
DOI10.1088/0957-0233/17/3/s15
页码545-552