Crack initiation in Cu-interconnect structures
H. Brillet-Rouxel; E. Arfan; D. Leguillon; M. Dupeux; M. Braccini; S. Orain
- 作者H. Brillet-Rouxel; E. Arfan; D. Leguillon; M. Dupeux; M. Braccini; S. Orain
- 卷第83卷
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小867.21KB
- 发表时间2006
- DOI10.1016/j.mee.2006.10.053
- 页码2297-2302