发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Reversing the hydrogen silsesquioxane image by silicon nitride and silicon oxide chemical mechanical polishing

F. C. M. J. M. Van Delft; F. J. H. Van Der Kruis; P. P. J. Van Eerd; H. A. Van Esch; H. W. J. J. Van De Laar

作者F. C. M. J. M. Van Delft; F. J. H. Van Der Kruis; P. P. J. Van Eerd; H. A. Van Esch; H. W. J. J. Van De Laar
文件大小580.91KB
发表时间2006
DOI10.1116/1.2357969