Characterization and operation of a mechanically actuated silicon microgripper
M. M. Blideran; M. Fleischer; W. Henschel; D. P. Kern; J. Sterr; K. Schock; S. Kleindiek; M. G. Langer; K. Löffler; F. Grauvogel
- 作者M. M. Blideran; M. Fleischer; W. Henschel; D. P. Kern; J. Sterr; K. Schock; S. Kleindiek; M. G. Langer; K. Löffler; F. Grauvogel
- 文件大小732.05KB
- 发表时间2006
- DOI10.1116/1.2357961