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Investigation of sidewall cracking in PMMA LIGA structures

Investigation of sidewall cracking in PMMA LIGA structures

L. L. Hunter; D. M. Skala; B. S. Levey

作者L. L. Hunter; D. M. Skala; B. S. Levey
文件大小1037.40KB
发表时间2006
DOI10.1088/0960-1317/16/7/010

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