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Annealing behavior and hardness enhancement of amorphous SiCN thin films

Annealing behavior and hardness enhancement of amorphous SiCN thin films

Ma, S. L.; Xu, B.; Xu, K. W.; Wu, X. L.; Chu, Paul K.

期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者Ma, S. L.; Xu, B.; Xu, K. W.; Wu, X. L.; Chu, Paul K.
卷第25卷
期第5期
印刷ISSN0734-2101
文件大小421.00KB
发表时间2007
DOI10.1116/1.2764080

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