Extended incident-angle dependence formula for physical sputtering
T. Ono; K. Shibata; T. Kenmotsu; T. Muramoto; Z. Li; T. Kawamura
- 作者T. Ono; K. Shibata; T. Kenmotsu; T. Muramoto; Z. Li; T. Kawamura
- 印刷ISSN0022-3115
- 文件大小389.75KB
- 发表时间2007
- DOI10.1016/j.jnucmat.2007.01.178
- 页码1266-1271