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Silicon Etching in HF∕HNO[sub 3]∕NH[sub 3]⋅H[sub 2]O∕H[sub 2]O System

Silicon Etching in HF∕HNO[sub 3]∕NH[sub 3]⋅H[sub 2]O∕H[sub 2]O System

Liu, Zhigang; Sun, Tietun; An, Jing; Wang, Jianqiang; Xu, Xiuqin; Cui, Rongqiang

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者Liu, Zhigang; Sun, Tietun; An, Jing; Wang, Jianqiang; Xu, Xiuqin; Cui, Rongqiang
卷第154卷
期第1期
印刷ISSN0013-4651
文件大小200.18KB
发表时间2007
DOI10.1149/1.2374940

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