Impact of structural parameters on the performance of silicon micromachined capacitive pressure sensors

• 作者V. Tsouti; G. Bikakis; S. Chatzandroulis; D. Goustouridis; P. Normand; D. Tsoukalas
• 卷第137卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小1010.26KB
• 发表时间2007
• DOI10.1016/j.sna.2007.02.015
• 页码20-24