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Effect of substrate orientation on film properties using AC reactive magnetron sputtering

Effect of substrate orientation on film properties using AC reactive magnetron sputtering

S.R. Pulugurtha; D.G. Bhat; M.H. Gordon; J. Shultz

作者S.R. Pulugurtha; D.G. Bhat; M.H. Gordon; J. Shultz
卷第202卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小1871.39KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.surfcoat.2007.05.071
页码755-761

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