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Parameters extraction of hafnium based gate oxide capacitors

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T. Nguyen; C. Busseret; L. Militaru; A. Poncet; D. Aimé; N. Baboux; C. Plossu

作者T. Nguyen; C. Busseret; L. Militaru; A. Poncet; D. Aimé; N. Baboux; C. Plossu
卷第47卷
印刷ISSN0026-2714
文件大小487.11KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.microrel.2007.01.061
页码729-732

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