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Thickness measurements with electron energy loss spectroscopy

Thickness measurements with electron energy loss spectroscopy

K. Iakoubovskii; K. Mitsuishi; Y. Nakayama; K. Furuya

作者K. Iakoubovskii; K. Mitsuishi; Y. Nakayama; K. Furuya
卷第71卷
期第8期
印刷ISSN1059-910X
电子ISSN1097-0029
文件大小401.31KB
发表时间2008
DOI10.1002/jemt.20597
页码626-631

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