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Differential and partial ionization cross sections for electron impact ionization of plasma processing molecules: CF
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Differential and partial ionization cross sections for electron impact ionization of plasma processing molecules: CF ₄ and PF ₅

Pal, Satyendra

期刊名称Physica Scripta
作者Pal, Satyendra
卷第77卷
期第5期
印刷ISSN0031-8949
电子ISSN1402-4896
文件大小417.99KB
发表时间2008-05
DOI10.1088/0031-8949/77/05/055304

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